儀器設備
當前位置:
主要科研設備
表面(miàn)測試設備
公共測試平台
同步熱分析儀
内壁塗層沉積系統
等離子體原位在線診斷系統
非平衡度可調磁控濺射鍍膜設備
電感耦合PECVD複合沉積系統
HiPIMS複合陰極電弧鍍膜裝置
磁過(guò)濾陰極弧複合濺射鍍膜儀
複合離子束薄膜沉積設備
真空紅外快速退火爐
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