柔性傳感器技術是極具挑戰和潛力的發(fā)展方向(xiàng),在人工智能(néng)、醫療健康等領域有著(zhe)廣闊的發(fā)展前景。随著(zhe)人機交互、運動健康監控等細分領域的快速發(fā)展,相關産品對(duì)傳感器提出了更高的要求,迫切需要具有柔韌、可彎曲、可拉伸、可回複特性的彈性傳感技術,以滿足人體穿戴舒适性的需求。研究人員依托中科院甯波材料技術與工程研究所、中科院磁性材料與器件重點實驗室,針對(duì)上述需求,聚焦信息感知關鍵彈性傳感器和信息傳輸關鍵彈性導體的研發(fā)。
發(fā)展了兼容高電導率和拉伸穩定性的彈性導體
複合型導高分子是在高分子基體中填加導電性物質(碳黑、碳納米管、石墨烯、金屬粉、金屬納米線和納米片等),通過(guò)分散複合、層積複合等方式得到的。由于它保持了高分子材料優異的柔彈性,是目前柔性電子元器件最爲理想的電極材料。但由于導電填料爲固體,與基體的彈性模量相差很大(3~7 個量級),拉伸時導電填料的間距會發(fā)生變化,造成(chéng)電極的電阻率明顯變化,影響器件性能(néng)。爲了解決該問題,本團隊采用易形變且導電性好(hǎo)的液态金屬镓铟錫(Galinstan)作爲導電填料,與PDMS分散複合制備了彈性電極。該電極不僅具有良好(hǎo)的導電性()和大的拉伸極限(~116.86%),更爲重要的是,該電極具有極其穩定的機械性能(néng),拉伸100%時電阻的相對(duì)變化率僅爲4.305%,其指标達到國(guó)際領先水平。
發(fā)展了彈性肌電傳感器
表面(miàn)肌電信号(SEMG)是一種(zhǒng)伴随肌肉活動出現的微弱生物電信号,在臨床醫學(xué)、人機功效學(xué)、康複醫學(xué)以及體育科學(xué)等方面(miàn)均有重要的實用價值。SEMG在測量上具有非侵入性、無創傷、操作簡單等優點,但信号易受電極影響,因此選擇合适的電極顯得尤爲重要。目前,商業化的肌電電極主要爲凝膠電極和金屬電極。凝膠電極與皮膚貼合性好(hǎo),但凝膠中的水份易揮發(fā),時間穩定性差,且易造成(chéng)皮膚過(guò)敏,不能(néng)重複使用;金屬電極導電性好(hǎo),但與皮膚的貼合性差,大幅度運動易滑動,導緻信号的動态穩定性較差,且易擦傷皮膚。研究人員利用研發(fā)的三層結構超薄彈性電極作爲肌電電極,該電肌的阻抗在工作頻率範圍内(20~400Hz)與凝膠電極和金屬電極相當,但又克服了凝膠電極時間穩定性差,以及金屬電極動态穩定性較差的難題。將(jiāng)三層結構的彈性電極用于測量腿部腓腸肌外側頭肌肉走動時的信号,并與傳統銅電極進(jìn)行對(duì)比,可以明顯看出,采用三層結構超薄彈性電極測得的肌電信号強了約一個數量級,顯示出了較廣闊的應用前景。
發(fā)展了柔性/彈性電路、高精度和可拉伸的應變傳感器
基于液态金屬導線,發(fā)展了可回收紙基柔性電路,其電導率達10000S/cm,彎折循環大于1萬次,複合熱導率是紙的2-3倍,提升了散熱性能(néng),回收率達90%每分鍾,進(jìn)一步發(fā)展了紙基LED顯示等演示電路。基于彈性導體,發(fā)展了彈性耳機線、彈性充電線等。
利用高靈敏的巨磁阻抗效應,采用LC振蕩電路結構,獲得了具有數字式脈沖輸出的高靈敏柔性壓力傳感器,探測極限10μN,可以感知螞蟻的爬行;首次在低壓力探測範圍同時實現了微應力感知與數字信号輸出;發(fā)展了兼容高精度和拉伸性的彈性應力傳感器,其拉伸範圍大于100%,探測精度~0.05%,且具有優異的回複特性。
發(fā)展了人機交互用的運動監控演示産品
發(fā)展了智能(néng)手套,用于手勢的識别,并實現了手勢對(duì)機械手的遠程操控;發(fā)展了用于膝關節運動監控的智能(néng)護膝,實現了跑步、登山等動作下關節運動的監控。
研究人員在材料、器件、方法、設備上進(jìn)行了專利布局,已經(jīng)申請專利30項(詳情參見專利推介部分),其中發(fā)明專利23項,已授權14項,實用新型專利授權7項。獲得甯波鄞州精英引領計劃支持以及甯波鎮海-中科院青促會創業大賽一等獎等榮譽。
圖1 可拉伸導線
圖2 可拉伸肌電傳感器
圖3 紙基可回收電路
圖4 智能(néng)護膝演示
(磁材事(shì)業部 劉宜偉 尚傑 陳斌 吳振廣 巫遠招 孫丹丹 胡超 周酉林 李潤偉)